標(biāo)定干涉儀可用于15米以的測量范圍,專為高精度測量定位軸的長度、角度和直線度。同時(shí)還可以實(shí)現(xiàn)水平和垂直軸的直線度以及光學(xué)旋轉(zhuǎn)角度的測量。干涉儀使用同步5軸測量系統(tǒng)使這一切成為可能。
測量系統(tǒng)所使用反射鏡組是一組空心反射鏡和一個(gè)可旋轉(zhuǎn)沃拉斯頓棱鏡的組合。其他配件還包括用于檢測平直度的鏡子和用于檢測90°偏轉(zhuǎn)的鏡子。
· 同步實(shí)現(xiàn)超高精度測量三通道長度、俯仰偏擺角度及直線度的測量
· 測量快速、簡便、可靠
· 干涉儀測頭及反光鏡角度可調(diào)整
· 干涉儀測頭及光束方向便于進(jìn)行整體調(diào)節(jié)
· 三個(gè)測量通道使用一致的激光頻率進(jìn)行測量
· 可實(shí)現(xiàn)高精度的角度測量
· 高精度校準(zhǔn)測量軸、機(jī)械工具以及坐標(biāo)測量儀器
· 可作為激光干涉測量的基礎(chǔ)標(biāo)準(zhǔn)
· 高精度同步測量長度及角度
· 差動式測量
工作原理: